特點: 最小檢測粒徑0.2m,流量每分鐘10毫升；粒徑范圍 (5通道)0.2m,0.3m,0.5m,1m,2m；集成的泄漏傳感器和報警輸出；藍寶石傳感器用于KS-42BF。
 

　　采用的光散射法原理，可滿足電子化學品，高純化學試劑，配方化學品等藥液中20nm-150um的粒徑測量需求。
 

　　原理：光與顆粒發(fā)生作用主要分為三類，幾何光學、米氏散 射和瑞利散射。當顆粒粒徑遠大于光波長時，以幾何光學 為主；當粒徑與波長相近時，以米氏散射為主；當粒徑遠 小于波長時，發(fā)生的是瑞利散射。液體顆粒計數(shù)器根據(jù)光 與顆粒作用的原理設(shè)計傳感器結(jié)構(gòu)，將計數(shù)器分為光阻法 和光散射法兩類。
 

　　應用：可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。 液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。 另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。